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    擴散/氧化/退火上下料機

    產品特點

    最高產能可達到16000pcs/h

    可根據客戶需求進行配置

    特制精密陶瓷吸盤,陶瓷頂齒,陶瓷側齒,減少硅片劃傷,保證設備的穩定性

    技術參數

    技術參數相關參數
    產能8000/11000/16000 pcs/h
    石英舟規格 1000/1200/1600槽 ,節距2.38mm
    硅片尺寸 166mm-210mm
    適用花籃100 cassette
    碎片率≤0.03%
    開機率≥98%
    耗氣量1000L/min
    具體參數如有變動,本公司不另行通知!
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