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    板式PECVD上下料機

    產品特點

    最高產能可達到6000pcs/h 

    可根據客戶需求進行定制 

    設備結構簡單穩定

    技術參數

    技術參數相關參數
    產速 4000 /6000 pcs/h(可訂制)
    碳框尺寸 

    10*10(5*5,5*6,8*10,9*10 可選)

    硅片尺寸 

    166mm-210mm

    碎片率  ≤0.02%
    開機率≥98%
    功率15kW
    耗氣量500L/min
    具體參數如有變動,本公司不另行通知!
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